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      半导体行业净化解决方案

      晶圆设备,微粒过滤和控制AMC是必须的。微粒过滤和控制AMC是高收益、低退货率的半导体产业首要担心的问题。不能很好的在洁净室或设备中控制微粒或AMC将大大的削弱企业的经营利润。洁净室的主要的问题是产品、工具、加工过程和气味控制的污染。

      传统的通风形式是在车间的整个天花板上布满高效过滤器,整个地面为回风栅板。如今我公司生产的FFU 使用自带风机的过滤装置,解决了繁复的安装和性价比问题,是目前市场上一种安静、价格优良的机组,为洁净室输送高质量的循环空气。

       

      污染物

      来源

      引发问题

      解决方案

      粉尘

      空气

      造成集成电路断路、短路,影响成品率

      化学过滤模块+普通、高效过滤器/FFU

      NH3,NMP

      外气

      “T-top“现象

      化学过滤模块

       

       

      部分成交客户

       

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